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至纯科技近期接受调研时表示，2022年炉管和涂胶显影设备有超过八千万元的订单，今年的订单规划我们会在年报中披露。2022年都是8寸的设备。目前8寸炉管已有重复订单；12寸的炉管设备，今年一季度会送到客户端去做验证，主要类型是ALD Nitride。涂胶显影设备今年8寸设备验证并交付；12寸设备我们已经完成专利检索、技术评估并基本完成了关键单元模组和关键系统的设计，目前在着手框架搭建及DEMO UNIT，并将在今年做模组验证工作，预计明年到用户端系统验证。
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